AUTO LIFT OFF
主要特点:
线性布局,自动传片,自动完成去胶工艺。
晶圆尺寸根据用户需求。
腔体共有三层,每层都有单独的药液排放 循环功能。
清洗多种金属颗粒和有机物残留。
药液在循环中,根据颗粒大小配备相应过滤系统。
药液恒温,或在线加热供给功能。
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