SLIT COATER
用途:
本机主要用于TFT、FPD、OLED大尺寸平板基片的光阻涂布工艺。
主要特点:
适应尺寸范围宽(最大可实现1400mm×420mm基片)
光阻可循环使用(省胶)
基片移动速度可调
具有循环清洗、排废功能
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